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復元にどれくらいかかるの?
Nov 07, 2024

再生にはどのくらいの時間がかかりますか ＶＴＩ グローブボックスの再生を行う ?

再生には合計20時間 (MK100) が必要で,4つの段階からなる.

  • Step1: 3時間加熱する

  • ステップ2: 3時間加熱してすすぐ

メンテナンス担当者は、再生ガスの流量がプロセス全体で15～20L/分になるように特別な注意を払う必要があります。

  • Step3: 6時間抽真空する

  • Step4: 8時間冷却および圧力バランス調整を行う

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